爱德华真空泵

真空泵按发生故障次序分，分为原发性故障和继发性故障

原发性故障，往往现在某局部发生小故障，此故障暂时未被发现或对真空泵运转未造成大影响。

继发性故障，当继续运转时，原发性故障损坏的部分造成真空泵的不平衡或碎片进到邻近运转部分而造成“健康”的部分损坏，这情形再往后发展直至真空泵整体或抓药部分毁坏二停止运转，后面阶段是继发性故障。